Анненков, А. Н. Проектирование и технология изготовления микроэлектромеханических устройств / А. Н. Анненков, В. Я. Беспалов, А. И. Шиянов //  Электричество. – 2012. – № 12. – С. 51-56 .


Место хранения: ЧЗТН

Все авторы:
Беспалов, В. Я. Шиянов, А. И.

Ключевые слова:
электромеханические устройства, проектирование  
обмотки микроэлектромеханических преобразователей, производство