Афонин, С. М. Устойчивость системы управления деформацией пьезодвигателя наноперемещений // Вестник машиностроения. – 2013. – № 2. – С. 3-10.
Место хранения:
ЧЗТН
Все авторы:
Ключевые слова:
пьезодвигатели наноперемещений
,
управление деформацией