Влияние контактного легирования монотектического сплава Cu-Pb, применяемого для изготовления катода имплантера, на распределение имплантируемых ионов в поверхностном слое стали 30ХГСН2А / Е. В. Лукьяненко [и др.] //
Наукоемкие технологии в машиностроении. – 2013. – № 2. – С. 3-8.
|