Афонин, С. М. Характеристики шагового пьезоактюатора нано-и микроперемещений // Вестник машиностроения. – 2013. – № 9. – С. 3-9.
Место хранения:
ЧЗТН
Все авторы:
Ключевые слова:
пьезоактюаторы наноперемещений
,
расчет
шаговые пьезоактюаторы
,
прецизионное позиционирование