Афонин, С. М. Параметрические структурные схемы многослойного пьезоактюатора нано- и микроперемещений при продольном пьезоэффекте // Электричество. – 2014. – № 2. – С. 61-67.
Место хранения:
ЧЗТН
Все авторы:
Ключевые слова:
пьезоактюаторы многослойные
наноперемещения
микроперемещения