Канаев, А. А. Формирование кристаллической структуры поверхности кремния под влиянием активных сред в процессе полировки / А. А. Канаев, А. Е. Городецкий // Стекло и керамика. – 2014. – № 5. – С. 29-32.
Место хранения:
ЧЗГиЕН
Все авторы:
Городецкий, А. Е.
Ключевые слова:
кремний
,
полировка
эффект Ребиндера