Топякова, М. В. Исследование механизмов травления ионным пучком материалов, используемых в микро- и нанотехнологиях / М. В. Топякова, А. А. Величко // Обработка металлов. – 2013. – № 3. – С. 98-102.
Место хранения:
ЧЗС
Все авторы:
Величко, А. А.
Ключевые слова:
травление фокусированным ионным пучком
растровый электронный микроскоп