Сошина, Т. О. Влияние мощности магнетронной системы на структуру и физико-механические свойства пленок на основе Ti-Al-N // Технология металлов. – 2013. – № 4. – С. 38-46.
Место хранения:
ЧЗС
Все авторы:
Ключевые слова:
импульсное магнетронное распыление
пленки поликристаллические