Васильев, В. Ю. Химическое осаждение рутенийсодержащих тонких пленок из газовой фазы / В. Ю. Васильев, Н. Б. Морозова, И. К. Игуменов // Успехи химии. – 2014. – № 8. – С. 758-782.
Место хранения:
ЧЗГиЕН
Все авторы:
Морозова, Н. Б. Игуменов, И. К.
Ключевые слова:
рутенийсодержащие тонкие пленки
,
химическое осаждение
микроэлектроника