Кириллов, А. В. Двухкоординатный сканирующий стол с электромеханическими приводами на базе планетарных роликовинтовых передач для нанотехнологического оборудования / А. В. Кириллов, О. В. Федотов, В. Н. Филимонов //
Вестник машиностроения. – 2014. – № 8. – С. 22-28.
|