Исследование особенностей многоэлементной ионной имплантации с использованием композиционных катодов системы медь—свинец  / В. В. Овчинников [и др.] //  Технология металлов. – 2014. – № 12. – С. 29-35.


Место хранения: ЧЗС

Все авторы:
Овчинников, В. В. Ярных, А. А. Боровин, Ю. М. Макеев, Ю. А.

Ключевые слова:
ионная имплантация  
частотно-импульсный режим