Корнев, Р. А. Конверсия тетрахлорида кремния в водородной плазме СВЧ-разряда / Р. А. Корнев, В. А. Шапошников, А. В. Гусев // Теоретические основы химической технологии. – 2015. – № 1. – С. 88-93.
Место хранения:
ЧЗГиЕН
Все авторы:
Шапошников, В. А. Гусев, А. В.
Ключевые слова:
конверсия тетрахлорида кремния
водородная плазма СВЧ-разряда
моделирование теплообмена реактора