STED-нанолитография трехмерных плазмонных структур / С. П. Елисеев [и др.] // Российские нанотехнологии. – 2016. – Т. 11, №3-4. – С. 62-66.
Место хранения:
ЧЗГиЕН
Все авторы:
Елисеев, С. П. Корольков, А. Е. Витухновская, А. Г. Чубич, Д. А. Сычев, В. В.
Ключевые слова:
sted-нанолитография
наноструктуры
литография