Дунаев, А. В. Плазменное наноразмерное структурирование GaAs в высокочастотном разряде фреона и в смеси фреон/Ar / А. В. Дунаев // Российские нанотехнологии. – 2016. – Т. 11,№9-10. – С. 29-32.
Место хранения:
ЧЗГиЕН
Все авторы:
Ключевые слова:
фреон
смеси фреона с аргоном
травление плазмохимическое
смеси активных газов с инертными
газы-разбавители
травление полупроводников