Ефремов, А. М. Параметры и состав плазмы в смеси CF4/О2/Аr / А. М. Ефремов, К.-Х. Квон // Известия высших учебных заведений. Химия и химическая технология. – 2017. – Т.60, Вып.1. – С. 50-55.
Место хранения:
ЧЗГиЕН
Все авторы:
Квон, К.-Х.
Ключевые слова:
плазма
кинетика реакций
моделирование плазмы
полимеризация плазменная