Осипов, А. А. Оптимизация технологических параметров процесса плазмохимического травления монокристаллов кварца / А. А. Осипов, С. Е. Александров, А. А. Осипов // Журнал прикладной химии. – 2016. – Т.89, Вып.6. – С. 704-709.
Место хранения:
ЧЗГиЕН
Все авторы:
Александров, С. Е. Осипов, А. А.
Ключевые слова:
плазмохимическое травление
монокристаллы кварца