Букарев, И. М. Повышение скорости роста толщины покрытия CrN/AlN управлением загрязнением мишени при магнетронном напылении / И. М. Букарев, А. В. Собольков, А. В. Аборкин // Вестник машиностроения. – 2017. – № 3. – С. 67-40.
Место хранения:
ЧЗТН
Все авторы:
Собольков, А. В. Аборкин, А. В.
Ключевые слова:
реактивное распыление магнетронно-ионное
покрытия СrN/AlN
,
рост толщины
распыление
,
металлические режимы