Влияние тлеющего разряда на изменение дислокационной структуры Ni3Fe / Н. А. Конева [и др.] //  Наукоемкие технологии в машиностроении. – 2018. – № 9. – С. 8-13.


Место хранения: ЧЗС

Все авторы:
Конева, Н. А. Логвин, В. А. Терешко, И. В. Шептунов, С. А.

Ключевые слова:
установки вакуумные  
автоматизированная технологическая среда  
ионно-лучевого распыления метод