Фомин, М. В. Повышение эффективности работы молекулярных ступеней со спиральными каналами гибридного турбомолекулярного вакуумного насоса / М. В. Фомин, И. М. Фомина // Вестник машиностроения. – 2019. – № 6. – С. 3-6.
Место хранения:
ЧЗТН
Все авторы:
Фомина, И. М.
Ключевые слова:
насосы молекулярные
спиральные каналы
метод Монте-Карло