Афонин, С. М. Кодовое управление многослойным пьезоактюатором нано- и микроперемещений // Вестник машиностроения. – 2019. – № 12. – С. 7-10.
Место хранения:
ЧЗТН
Все авторы:
Ключевые слова:
пьезоактюаторы многослойные
нано- и микроперемещения
кодовое управление