Место хранения: ЧЗТН

Все авторы:
Гришин, Ю. М. Козлов, Н. П. Скрябин, А. С. Борисов, Л. А.

Ключевые слова:
поликристаллический кремний, плазменные методы получения  
кварцевое сырье, переработка