|
Версия для печати
Вернуться к списку
Топякова, М. В. Исследование механизмов травления ионным пучком материалов, используемых в микро- и нанотехнологиях / М. В. Топякова, А. А. Величко //
Обработка металлов. – 2013. – № 3. – С. 98-102.
Еще статьи из этого номера
|
|
|
