Роспись статей НТБ КузГТУ. Сошина, Т. О. Влияние мощности магнетронной системы на структуру и физико-механические свойства пленок на основе Ti-Al-N // Технология металлов. - 2013. - № 4.

Search Frame v1.2

Сошина, Т. О. Влияние мощности магнетронной системы на структуру и физико-механические свойства пленок на основе Ti-Al-N // Технология металлов. – 2013. – № 4. – С. 38-46.

Место хранения: ЧЗС

Все авторы:

Ключевые слова:
импульсное магнетронное распыление
пленки поликристаллические

Еще статьи из этого номера

НТБ КузГТУ 2010-2014