Search Frame v1.2

  Версия для печати



Вернуться к списку 

Перв.  Пред.  24381-24390  24391  24392  24393  24394  24395  24396  24397  24398  24399  24400  24401-24410  След.  Послед. 

Васильев, В. Ю. Химическое осаждение рутенийсодержащих тонких пленок из газовой фазы / В. Ю. Васильев, Н. Б. Морозова, И. К. Игуменов //  Успехи химии. – 2014. – № 8. – С. 758-782.


Место хранения: ЧЗГиЕН

Все авторы:
Морозова, Н. Б. Игуменов, И. К.

Ключевые слова:
рутенийсодержащие тонкие пленкихимическое осаждение  
микроэлектроника  
  
  
  
  
  
  
  
  


Еще статьи из этого номера

Перв.  Пред.  24381-24390  24391  24392  24393  24394  24395  24396  24397  24398  24399  24400  24401-24410  След.  Послед. 

 

НТБ КузГТУ 2010-2014