Роспись статей НТБ КузГТУ. Осипов, А. А. Оптимизация технологических параметров процесса плазмохимического травления монокристаллов кварца // Журнал прикладной химии. - 2016. - Т.89, Вып.6.

Search Frame v1.2

Осипов, А. А. Оптимизация технологических параметров процесса плазмохимического травления монокристаллов кварца / А. А. Осипов, С. Е. Александров, А. А. Осипов // Журнал прикладной химии. – 2016. – Т.89, Вып.6. – С. 704-709.

Место хранения: ЧЗГиЕН

Все авторы:
Александров, С. Е. Осипов, А. А.

Ключевые слова:
плазмохимическое травление
монокристаллы кварца

Еще статьи из этого номера

НТБ КузГТУ 2010-2014