Роспись статей НТБ КузГТУ. Букарев, И. М. Повышение скорости роста толщины покрытия CrN/AlN управлением загрязнением мишени при магнетронном напылении // Вестник машиностроения. - 2017. - № 3.

Search Frame v1.2

Букарев, И. М. Повышение скорости роста толщины покрытия CrN/AlN управлением загрязнением мишени при магнетронном напылении / И. М. Букарев, А. В. Собольков, А. В. Аборкин // Вестник машиностроения. – 2017. – № 3. – С. 67-40.

Место хранения: ЧЗТН

Все авторы:
Собольков, А. В. Аборкин, А. В.

Ключевые слова:
реактивное распыление магнетронно-ионное
покрытия СrN/AlN, рост толщины
распыление, металлические режимы

Еще статьи из этого номера

НТБ КузГТУ 2010-2014